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产品升级换代
发布时间：2024-07-08点击:576
2023年5月起公司生产的等离子清洗机全面升级，原来的YZD08-2C、YZD08-5C、SAT-5D等所有型号全部升级，升级后对应型号如下：
| 序号 | 升级前型号 | 升级后型号 | 升级说明 | 备注 | ||||
| 1 | YZD08-2C | SAT 100 | 1.控制部分升级为液晶屏+薄膜按键控制 2.舱门升级为铰链式测开门 | 方便操作 | ||||
| 2 | YZD08-5C | STA 510 | 1.控制部分升级为内置计算机+触摸屏控制 2.舱门升级为铰链式测开门 3.舱体直径升级到155毫米 4.外形升级为钣金喷塑材质 5.外形结构升级为上下结构 | 可以放入 6寸晶圆 | ||||
| 3 | SAT-5D | SAT 520 | 1.控制部分升级为内置计算机+触摸屏控制 2.舱门升级为铰链式测开门 3.舱体直径升级到155毫米 4.外形升级为钣金喷塑材质 5.外形结构升级为上下结构 | |||||
| 4 | SAT-9C | SAT 910 | 1.控制部分升级为内置计算机+触摸屏控制 2.舱门升级为铰链式测开门 3.舱体直径升级到215毫米 4.外形升级为钣金喷塑材质 5.外形结构升级为上下结构 | 可以放入 8寸 晶圆 | ||||
| 5 | SAT-9D | SAT 920 | 1.控制部分升级为内置计算机+触摸屏控制 2.舱门升级为铰链式测开门 3.舱体直径升级到215毫米 4.外形升级为钣金喷塑材质 5.外形结构升级为上下结构 | |||||
| 6 | 1.同时增加SAT 210 SAT 220、SAT 320（转瓶机）、SAT 620（石英舱体）、SAT 1520、SAT 3520、SAT 8020等生产型设备 2.每个型号都可以选配内置的质量流量计（MFC) 3.所有型号都新增真空度可调功能，范围：20--60PA | |||||||
