SAT 3000 透射电镜样品杆等离子清洗机（Plasma）

一、应用领域

    主要用于TEM透射电镜样品杆的清洗和真空检漏。

二、实验应用

 透射电镜样品杆清洗机主要用于TEM透射电镜样品杆的清洗和真空检漏。

 三、设备原理

 SAT透射电镜样品杆清洗机采用远程等离子清洗源，清洁快速高效、低轰击损伤，同时也可以作为常规等离子清洗。

四、技术特点

  远程等离子源、一机多用、清洁快速高效、低轰击损伤.

 五、技术规格

1.7寸全彩触摸屏智能程序化操控方式，人机互动界面。

2.手动、自动两种工作模式，可根据客户需求任意切换，自动工作模式下可编程，自动完成整个清洗过程。

*3.清洗室:尺寸：ø180ⅹH100mm，材质：不锈钢

*4.清洗数量：可以同时清洗3支TEM样品杆。

*5.适配TEM品牌：美国THERMO   FISHER (FED、日本日立(HITACHI)、日本电子(JEOL)等，或者您提供准确的TEM样品杆的尺寸（直径*长度）我们来定做，都可以满足您的样品杆清洁

*6.13.56MHz射频RF电源.

*7.射频功率5-150W无极可调

*8.远程等离子源，自动匹配器。

9.真空控制：皮拉尼真空计，测量范围：1.0E-5Pa—1E+5Pa。

10.真空保证：真空计和电磁阀互锁。

11.真空系统：

     1）前级泵：国产机械油泵，抽气速率：2.5 m3/h

     2）分子泵：极限真空LF<8ⅹ10-6Pa,CF<8ⅹ10-7Pa，  抽速：85L/S(N2)     ，入口法兰：DN63   ISO-K(LF)/CF

12.工作气体：氧气、氮气、氩气等惰性气体，也可以直接通入空气。

13.标配单路质量流量计（MFC)可选双路。0一500S，自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响

14.舱体、管路、阀体全部采用优质不锈钢材质。

15.电源220V，50/60Hz。

16.产品尺寸：L565xw505xH560mm    重量：约68Kg