序号

品名

型号

数量

品牌

生产厂家

产地

1

紫外臭氧清洗机

GM-330

1

中国

中国

中国

2

备注： 1.含1%的发票 2.含运费 3.质保1年

序号

项目名称

详细参数

1

主要应用

表面清洁、薄膜沉积、紫外光刻、表面杀菌、AFM/STM探针清洁、UV化学反应、光学部件的清洁、改善样品表面亲水性、去除表面单分子层、表面氧化、表面刻蚀/缩微成像等

2

适用样品类型

石英、硅、二氧化硅、氮化硅、金、镍铝、

砷化镓、氧化铝、玻璃、不锈钢等

3

技术规格

1.UV石英低压汞蒸汽格栅灯，灯管寿命不低于8000小时。

2.高强度UV灯源，波长185nm和254nm。

3.UV灯尺寸33x33xcm。

4.UV格栅灯反射罩尺寸大于35×35cm。

5.可编程数字控制器，设置操作简单方便，四键操作控制。

6.倒计时显示清洗时间，1-999分钟之间可自行设置清洗时间。

7.任何时间可以手动中断处理过程。

8.自动记录之前清洗参数设置。

9.顶置下压式铰链开关盖方式，操作简单方便。

10.上置式样品台，360度自由放置样品，操作方便。

11.样品台高度可调，通过调节灯与样品之间的间距，可以合理定位样品高度和位置，位置可锁定。

12.双重安全保护，当清洗腔打开时，系统安全锁会关掉UV灯，并有灯光通断提示。

13.自动补偿功能，自动恒定光强光密度，不会因为低压汞灯老化光强衰减影响清洗效果。

14.带进&出气口双气路设计。可接入氧气，增加臭氧产量。

15.可选臭氧中和器，用于臭氧清除。

16.可根据客户要求定制真空反应腔，铝或石英材料。

17.产品尺寸70x60x20cm，重量18.5kg。

4

基本配置

主机+电源线+说明书