1. 保持仪器整体清洁，不要处理潮湿样品。

2. 仪器安装位置要合适：真空泵与仪器主机的安装高度差最好大于90厘米。

3. 运行工艺最好是从短时间，低功率开始介入，摸索出适合自己实验的工艺，尽量避免一成不变的套用各种文献的工艺，各种文献所述工艺仅供参考。

4. 避免通入易燃和有腐蚀性气体工作，例如氨气和纯氢气，可以采用氮氢混合气来代替。

5. 手动运行仪器时，一定要保证舱体内真空度达到标准（60Pa）后方可通入外加气体，给入射频等操作。

6. 尽量避免使用一些特殊气体，如四氟化碳，因为长时间使用，会导致碳元素大量附着在电极板，导致仪器效率下降，如果必须使用的话，建议采购石英舱体电感式仪器。

7. 采用浮子流量计进气时，尽量做到进气和抽气达到一个动态平衡，通过手动调节流量计的进气旋钮来实现。

8. 外接进气钢瓶的进气压力控制在0.1-0.3Mpa,直接进入空气的忽略此参数。

9. 常规仪器清洁使用酒精擦拭或者紫外照射即可。

10. 使用一段时间后，注意观察真空泵的真空油位和浑浊程度，如果发现真空由过少或者浑浊请及时添加或者更换真空油。

赛奥特（北京）科技有限公司