等离子体（Plasma）选型攻略

1. 确定实验样品的大小

通过实验样品的大小来选择合适的仪器舱体尺寸

1.∅150×255mm（长）

2.∅100×255mm（长）

3.定做方形舱体

2. 确定实验目的

根据自己的实验目的和诉求来选择仪器的射频功率

（1）低射频：40Khz,通过高压电离气体，产生离子，然后通过离子的纯物理轰击的作用来达到对样品的清洁  改性    键合  简单刻蚀等

（2）高频：13.56Mhz, 通过高压电离气体，产生离子，然后通过射频的特性在真空舱体内既有离子的物理轰击的作用同时还有气体和样品表面的化学反应来达到对样品的清洁  改性    键合  简单刻蚀  样品表面有机物清除等

3.气路的选择

      根据实验性质选择是否需要多种气源，如果实验只是需要一种进气源就可以的话，那么就选择单气路的仪器，反之亦然

4.实验经费的考量

总之，选好一款性价比较高的仪器，最基本的需要综合上述4点来考量。