等离子清洗是等离子表面改性的其中较为常见的一种方式。

等离子清洗的作用原理主要是：

1）对材料表面的刻蚀作用--物理作用（射频电源：40Khz或者13.56MHZ）

等离子体中的大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子，作用到固体样品表面，不但清除了表面原有的污染物和杂质，而且会产生刻蚀作用，将样品表面变粗糙，形成许多微细坑洼，增大了样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。

2）激活键能，交联作用（射频电源：40Khz或者13.56MHZ）

等离子体中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的键能在0~10eV，因此等离子体作用到固体表面后，可以将固体表面的原有的化学键产生断裂，等离子体中的自由基与这些键形成网状的交联结构，大大地激活了表面活性。

3）形成新的官能团--化学作用（射频电源： 13.56MHZ）

如果放电气体中引入反应性气体，那么在活化的材料表面会发生复杂的化学反应，引入新的官能团，如烃基、氨基、羧基等，这些官能团都是活性基团，能明显提高材料表面活性。

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